Izolan seramik 5-aks fraisé pou ekipman semi-kondiktè ak chanm pwòp

Nan mond fabrikasyon semi-kondiktè ak anviwònman chanm pwòp ki gen anpil risk, chak eleman dwe bay yon pèfòmans san defo. NanPFT, nou espesyalize nan atizanalIzolan seramik 5-aks fraiséki redefini presizyon ak fyab. Avèk plis pase 20+Avèk plizyè ane ekspètiz, solisyon nou yo fèt pou satisfè demand egzijan ekipman semi-kondiktè yo, pou asire estabilite tèmik, izolasyon elektrik, ak operasyon san kontaminasyon nan anviwònman ultra sansib.

Poukisa ou ta dwe chwazi izolatè seramik 5 aks nou yo ki fraise?

1.Kapasite fabrikasyon avanse

Enstalasyon nou an ekipe akmachin fraisage CNC 5 aks dènye kri, sa ki pèmèt yon presizyon nan nivo mikron nan fòme seramik avanse tankou aliminyòm (Al₂O₃), carbure Silisyòm (SiC), ak nitrid aliminyòm (AlN). Kontrèman ak metòd konvansyonèl yo, machinasyon 5 aks pèmèt jeyometri konplèks—ki enpòtan pou konpozan tankou peny leve waf, pati chanm depo, ak izolan rezistan plasma.

Karakteristik kle yo:

•Presizyon:Tolerans ±0.005mm pou yon entegrasyon san pwoblèm nan zouti litografi ASML oswa sistèm grave Lam Research.
•Adaptabilite Materyèl:Optimize pou 99.8% aliminyòm, SiC ki gen gwo pite, ak lòt seramik avanse.
•Fini sifas:Ra <0.2μm pou minimize jenerasyon patikil nan chanm pwòp ISO Klas 1 yo.

2.Jeni Pwosesis Pwopriyetè

Enjenyè nou yo te devlopekontwòl pwosesis bouk fèmenki adapte ak frajilite seramik la pandan machinasyon. Lè nou konbine teknik fraisaj sèk ak amortisman vibrasyon an tan reyèl, nou reyalize sifas san fant ak dire lavi konpozan ki pwolonje—menm anba sik tèmik ekstrèm (jiska 1,600°C).

Inovasyon an vedèt:

•Pwotokòl pou soulaje estrès:Minimize mikwo-frakti nan izolan AlN pou aplikasyon CVD.
•Tretman apre machinasyon:HIP (Hot Isostatic Pressing) amelyore dansite ak rezistans korozyon.

3.Asirans Kalite Rijid

Chak izolan sibiEnspeksyon 12 etap, ki gen ladan:

•CMM (Machin Mezire Kowòdone)validasyon dimansyon kritik yo.
•Tès flit elyòmpou konpatibilite vakyòm.
•EDS (Spèktroskopi reyon X ki dispèse enèji)pou verifye pite materyèl la.

NouSistèm sètifye ISO 9001/14001asire trasabilite depi akizisyon matyè premyè (ki soti nan founisè Nivo 1 tankou CoorsTek) rive nan anbalaj final la.

Aplikasyon: Kote Presizyon Rankontre Pèfòmans

Izolan nou yo merite konfyans nan:

•Zouti pou grave ak depoze:Konpozan ki kouvri ak SiC pou rezistans plasma nan modil Applied Materials™ yo.
•Enplantè Ion:Broch leve aliminyòm ak kouch anti-estatik pou anpeche glise wafer la.
•Sistèm Metroloji:Izolan ki gen ti ekspansyon tèmik pou etap litografi EUV yo.

Etid Ka:Yon gwo fabrikè ekipman orijinal semi-kondiktè te diminye tan pann zouti yo pa 40% apre yo te fin chanje pou itilize tèt douch SiC nou yo ki fèt espesyalman pou yo, ki te pi pèfòman pase pyès konpetitè yo nan pwosesis waf 300mm.

Pi lwen pase fabrikasyon: Yon apwòch patenarya

•Pwototipaj rapid:Soumèt fichye CAD ou yo epi resevwa prototip fonksyonèl nan 7 jou.
•Anbalaj Chanm Pwòp Sou Plas la:Asanblaj chanm pwòp Klas 10 opsyonèl pou entegrasyon zouti dirèk.
•Sipò teknik pou tout lavi:Enjenyè nou yo bay analiz mete ak sèvis re-usinage pou pwolonje sik lavi konpozan yo.